转自:2017年04月13日 浙江日报新闻客户端
链接：http://zj.zjol.com.cn/news/610840.html
制造领域几乎所有的创新和技术进步都离不开纳米技术，而纳米计量不仅是测量和表征纳米尺度器件的基础，也是微电子、微机械、超精密加工、纳米医学、纳米生物学等领域中不可回避的关键科学与技术问题。记者今天从浙江省计量科学研究院获悉，日前，该院“扫描探针显微镜校准装置”通过了专家组现场考核，建立了省内首个纳米计量领域社会公用计量标准。
“中国是世界纳米科技大国，构建了庞大的纳米制造研发和生产体系，拥有数十万台纳米测量仪器。但是纳米计量技术、测试仪器和传递标准却相对较少，制约了我国纳米制造技术和相关行业的进一步发展。”据浙江省计量科学研究院长度与光学计量研究所副所长茅振华介绍，目前，在国家计量基标准资源共享平台项目“微纳计量标准技术在华东地区的专题服务”的支持下,经过两年多的研究,该院已基本具备微纳几何结构关键尺寸的计量校准能力，建立了我省的纳米计量量值传递的社会公用计量标准，可为半导体企业、精密加工中心的关键尺寸测量提供量值溯源至国家基准的途径，更加全面准确地为半导体、微电子行业的纳米尺度关键尺寸检测提供技术保障。
据茅振华介绍，由于商业扫描探针显微镜(SPM)没有激光干涉计量框架，无法实现量值的直接溯源，在XYZ三维方向的微纳尺寸测量只能依靠压电陶瓷执行器上的应变片／电容传感器。应变片／电容传感器在安装过程中可能产生误差、并且随着时间的推移也会累积误差，因此需要建立SPM校准装置校准商业SPM中的测量误差。
目前，浙江省计量科学研究院的扫描探针显微镜校准装置由5个纳米台阶高度标准样板构成，标称值分别为50nm、100nm、200nm、500nm、1000nm，相对不确定度为Urel=2.8％～0.6％(k=2)，标准样板均由纳米几何结构计量标准装置进行绝对法定值，定值结果可直接溯源至激光波长国家基准。该校准装置已经达到国内领先水平，能够校准如扫描探针显微镜(SPM)、原子力显微镜(AFM)、台阶仪、轮廓仪等多种微纳米级测量仪器。